RHH系列射頻電源依靠成熟的射頻發生技術為基礎，為客戶提供更大的功率、精度更高、響應快速的射頻電源。具有相位可設、脈沖可控、數字調諧等功能。適用領域：光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。
適用工藝：等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。