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RHH系列射頻電源

RHH系列射頻電源依靠成熟的射頻發生技術為基礎,為客戶提供更大的功率、精度更高、響應快速的射頻電源。具有相位可設、脈沖可控、數字調諧等功能。適用領域:光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。
適用工藝:等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。
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產品編號
產品系列:
RHH系列
數量
-
+
庫存:
0
產品描述
參數
型號定義
主要參數

● 半磚和機架式安裝方式

● 采用全數字控制,具有便捷和豐富的操作菜單

● 頻率調諧、脈沖和脈沖同步功能

● 具備CEX相位同步功能

● 完善保護功能

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輸入

輸入電壓:AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(特殊規格可定制)

輸入頻率:47~63Hz

輸出

輸出頻率: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

調諧范圍:±5%

輸出功率:1.5~5kW

輸出功率調節范圍:1~100%

輸出阻抗:50Ω+j0

輸出接口:N型

輸出模式:連續、脈沖

脈沖頻率:100Hz~100kHz

占空比: 5~95%

性能指標

功率因數:0.98

頻率穩定精度:±0.005%

效率:75%(額定輸出時)

諧波:<-45dBc

雜散:<-50dBc

外部控制接口:模擬量、通訊、同步

通信方式:標配RS485通訊接口;可選Ether CAT、工業以太網等

注:產品不斷創新,性能繼續提升,本參數說明僅供參考。

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